SPS旋涂儀 POLOS 200用于涂布清洗漂洗/干燥

POLOS 200 高級單基板旋轉(zhuǎn)處理器，臺面模型桌面版，自動(dòng)化學(xué)品分配，重型電機(jī)。它支持多種流體，

這要?dú)w功于天然聚丙烯和聚四氟乙烯的全塑料外殼。電機(jī)模式旋轉(zhuǎn)的控制，

結(jié)合POLOS Advanced系統(tǒng)中多達(dá)6個(gè)自動(dòng)點(diǎn)膠機(jī)，可實(shí)現(xiàn)多層薄膜的均勻沉積和光刻膠顯影。

這些功能通過全自動(dòng)配方和高可重復(fù)性實(shí)現(xiàn)快速工藝優(yōu)化。

適用于涂布、清洗、漂洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI等工藝

特性

自動(dòng)化學(xué)品分配

重型電機(jī)

支持多種流體

多達(dá) 6 個(gè)自動(dòng)分配器

特點(diǎn)

高達(dá) 260 mm 的圓形或 6“ x 6" 方形基板

材料：天然聚丙烯（高級NPP，工具體和所有接液表面）或PTFE

帶注射器支架的透明蓋，用于集中點(diǎn)膠

CW 和 CCW 水坑旋轉(zhuǎn)

（可拆卸）帶有可定制圖標(biāo)的彩色觸摸屏

手套友好，IP52，耐化學(xué)腐蝕

無限程序存儲，用于每個(gè)步驟的食譜

USB端口

標(biāo)準(zhǔn) 1“ 排水連接

與我們的藍(lán)寶石MegPie兆聲波換能器兼容

我們還為該系列提供可選的背面沖洗蓋和氣動(dòng)蓋、真空泵、分散容器和噴射噴射器！

包括

3 個(gè)可編程干式繼電器，標(biāo)稱開關(guān)容量 0.5A / 125 VAC - 0.3A / 60DC

1 件式真空吸盤 A-V36-S45-NPP，適用于直徑達(dá) ? 150mm 的基板和 1 件式碎片適配器 D-V10-S50-NPP

型號

POLOS 200

POLOS 300

POLOS 450

POLOS SPIN150i

POLOS SPIN200i

SPS旋涂儀 POLOS 200用于涂布清洗漂洗/干燥